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产物概况

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1000

全主动型原子力显微镜 AFM5500M

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市场价
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产物编号
数目
-
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库存:
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临时无货
1
产物描写
参数

AFM5500M是操纵性和丈量精度大幅进步,装备4英寸主动马达台的全主动型原子力显微镜。装备在悬臂改换,激光对中,测试参数设置等关键上供给全主动操纵平台。新开辟的高精度扫描器和低乐音3轴感到器使丈量精度大幅进步。并且,经由过程SEM-AFM同享坐标样品台可轻松完成统一视线的彼此察看・阐发。

特点

1. 主动化功效

• 高度集成主动化功效寻求高效力检测

• 下降检测中的报酬操纵偏差

4英寸主动马达台 主动改换悬臂功效

 

2. 靠得住性

解除机器缘由形成的偏差

• 大规模程度扫描

接纳管型扫描器的原子力显微镜,针对扫描器圆弧活动所产生的曲面,凡是经由过程软件校订体例取得立体数据。可是,用软件校订体例不能完整消弭扫描器圆弧活动的影响,图片上常常产生歪曲结果。

AFM5500M搭载了最新研发的程度扫描器,可完成不受圆弧活动影响的精确测试。

Sample :Amorphous silicon thin film on a silicon substrate

• 高精角度丈量

通俗的原子力显微镜所接纳的扫描器,在竖直伸缩的时辰,会产生曲折(crosstalk)。这是图象在程度标的目的产生描摹偏差的间接缘由。

AFM5500M中搭载的全新扫描器,在竖直标的目的上不会产生曲折(crosstalk) ,能够获得程度标的目的不歪曲影响的准确图象。

Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)

* 利用AFM5100N(开环节制)时

 

3. 融会性

密切融会其余检测阐发体例

经由过程SEM-AFM的同享坐标样品台,可完成在统一视线疾速的察看・阐发样品的外表描摹,布局,成份,物理特征等。

SEM-AFM在统一视线察看实例(样品:石墨烯/SiO2)

The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.

上图是AFM5500M拍摄的外形像(AFM像)和电位像(KFM像)别离和SEM图象叠加的利用数据。

• 经由过程阐发AFM图象能够判定,SEM对照度表征石墨烯层的厚薄。

• 石墨烯层数差别致使外表电位(功函数)的反差。

• SEM图象对照度差别,能够经由过程SPM的高精度3D描摹丈量和物理特征阐发找到其缘由。

此后打算与其余显微镜和阐发仪器的联用。

 

特点

AFM5500M 主机

马达台 主动紧密马达台
最大察看规模:100 mm (4英寸)全域
马达台挪动规模:XY ± 50 mm、Z ≥21 mm
最小步距:XY 2 µm、Z 0.04  µm
最大样品尺寸 直径:100 mm(4英寸)、厚度:20 mm
样品分量:2 kg
扫描规模 200 µm x 200 µm x 15 µm (XY:闭环节制 / Z:感到器监控)
RMS乐音程度* 0.04 nm 以下(高分辩率形式)
复位精度* XY: ≤15 nm(3σ、计量10  μm的规范间距) / Z: ≤1 nm (3σ、计量100 nm 的规范深度)
XY直角度 ±0.5°
BOW* 2 nm/50 µm 以下
检测体例 激光检测(低干与光学体系)
光学显微镜 缩小倍率:x1 ~ x7
视线规模:910 µm x 650 µm ~ 130 µm x 90 µm
显现倍率:x465 ~ x3,255(27英寸显现器)
减震台 台式主动减震台 500 mm(W) x 600 mm (D) x 84 mm (H)、约28 kg
防音罩 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 约 237 kg
巨细・分量 400 mm(W) x 526 mm(D) x 550 mm(H)、约 90 kg

* 参数与装备设置装备摆设及安排情况相干。

AFM5500M 公用原子力显微镜任务站

OS Windows7
RealTune®II 主动调理悬臂振幅、打仗力、扫描速度和旌旗灯号反应
操纵画面 操纵导航功效、多窗口显现功效(测试/阐发)、3D图象叠加功效、扫描规模/丈量经历显现功效、数据批处置阐发功效、探针评价功效
X, Y, Z扫描驱动电压 0~150 V
不时测试(像素点) 4画面(最大2,048 x 2,048)
2画面(最大4,096 x 4,096)
长方形扫描 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1
阐发软件 3D显现功效、粗拙度阐发、截面阐发、均匀截面阐发
主动节制功效 主动改换悬臂、主动激光对中
巨细・分量 340 mm(W) x 503 mm(D) x 550 mm(H)、约 34 kg
电源 AC100 ~ 240 V ±10% 交换
测试形式 标配:AFM、DFM、PM(相位)、FFM 选配:SIS描摹、SIS物理特征、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM(AC)、EFM(DC)、MFM

* WINDOWS 是、美国 Microsoft Corporation 在美国及美国之外国度注册牌号。

* RealTune这天立高新迷信公司在日本、美国和欧洲的注册牌号。

选配项:SEM-AFM联用体系

可合用的日立SEM型号 SU8240、SU8230(H36 mm型)、SU8220(H29 mm型)
样品台巨细 41 mm(W) x 28 mm(D) x  16 mm (H)
最大样品尺寸 Φ20 mm x 7 mm
对中精度 ±10 µm (AFM对中精度)

 

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